電子工業(yè)用氣體 氫氣

GB/T 16942-2009

氫氣純度、氮、氧、CO、CO2、總烴、水分、總雜質(zhì)含量、顆粒

各種金屬元素檢測、氟離子、氯離子、硝酸根離子、硫酸根離子、溴離子、碘離子、氰化氫含量等，以及ppb級(jí)別的水含量、氧含量、0.1μm的固體顆粒

電子工業(yè)用氣體 氧氣

GB/T 14604-2009

氧氣純度、氫、氬、氮、CO、CO2、總烴、一氧化氮、二氧化氮、氪、水分、總雜質(zhì)（稀有氣體）含量、顆粒

電子工業(yè)用氣體 氮?dú)?/span>

GB/T 16944-2009

氮?dú)饧兌取洹⒀酢?/span>CO、CO2、總烴、水，雜質(zhì)總含量

電子工業(yè)用氣體 氬氣

GB/T 16945-2009

氬氣純度、氫、氮、氧、CO、CO2、總烴、水，雜質(zhì)總量，顆粒

電子工業(yè)用氣體 氨

GB/T 14601-2009

氨純度、氧、氮、CO、烴（C1~C3)、水分

、氫、CO2、重金屬含量

電子工業(yè)用氧化亞氮

GB/T 14600-2009

純度、氨、CO、CO2、烴（C1~C5)、氮、氧、NO、NO2、水

電子工業(yè)用六氟化硫

GB/T18867-2014

純度、氧、氬、氮、四氟化碳、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、水分、酸度、可水解氟化物、顆粒